클린룸 시스템

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FFU / EFU 감시 제어 시스템

LCD, 반도체 라인 및 그 외의 클린룸 환경을 유지하기 위하여 사용하는 Fan Filter Unit (FFU/EFU)를 감시, 제어하기에 가장 적합한 정보 시스템을 구현하는 것이 주목적이며, 공조 환경 제어를 위한 온/습도의 데이터를 동시에 감시할 수 있는 첨단 통합 환경감시제어 시스템입니다.

클린룸FFU시스템구성도

Local controller = Individual Control Unit

ICU(Individual Control Unit)는 Fan Filter Unit(FFU/EFU)의 팬을 회전시키는 모터의 전원공급과 속도제어, 이상상태 감시 및 통신 기능을 가진 제어기의 통칭입니다. 내장된 통신기능을 통해 PC와 연결 원격감시제어가 가능합니다. 모터의 종류 및 전원사양, 속도제어 방식에 따라 ICU의 모델이 분류되어있습니다.

단상 리니어 제품군

AC 모터를 기반으로 한 FFU/EFU의 가변 속도제어기로 0-100%로 속도제어가 가능합니다.

RS485통신 Type

ICU-S210

AC전원 direct PWM(Pulse Width Modulation) 제어 방식의 제어기이며,

주로 300W 미만의 EFU에 사용됩니다.

ICU-P200

AC전원 Phase Control 제어 방식의 제어기이며, 주로 500W이하의 FFU/EFU에 사용됩니다.



BLDC 제품군

BLDC 모터를 기반으로 한 FFU/EFU의 가변 속도제어기로 rpm 속도제어가 가능합니다.

ICU-BL350

BLDC 모터제어기로 드라이버부+PFC 내장형으로 대표 모델입니다.

ICU-BL400

BLDC 모터제어기로 드라이버부+PFC 내장형으로 대표 모델입니다.

ICU-BL700

BLDC 모터제어기로 드라이버부+PFC 내장형으로 700W 미만의 FFU에 사용됩니다.

단상 AC 제품군

AC 모터를 기반으로 한 FFU의 STEP , ON/OFF 제어용으로 RS485통신 Type과 접점 Type으로 나뉘게됩니다.

ICU-1P3S

AC FFU의 가장 보편적인 LOW, MID, HI 3단 속도 제어기로, FFU와 1:1, 1:2 연결 Type이 가능합니다.

LTU100-3S

Local Terminal Unit로 시그널 접점을 통해 알람 유무를 확인하는 저가형 모델입니다.

삼상 AC 제품군

AC 모터를 기반으로 한 ON/OFF 제어용으로 RS485통신 Type과 접점 Type으로 분류됩니다.

ICU-3P4T

3Φ AC FFU 1:4제어기로 FFU 4대가 1대의 제어기로 ON/OFF 및 접점 출력을 통한 알람 확인이 가능합니다.

ICU-3P

3Φ AC FFU 통신형 제어기로 FFU와 1:1,1:2,1:4 방식으로 구분되어있습니다.

통신 중계기

Digital 제품의 안정적인 대량생산을 목적으로 일괄생산체재를 갖춘 공장을 FAB이라고 합니다. 이러한 FAB에는 FFU의 수량이 수만대에 이르기도 합니다. DPU/GMU는 ICU와 PC사이에서 중계기의 역할을 하며 많은 데이터의 양을 실시간으로 수집/처리/전송의 역할을 수행합니다.

DPU / GMU

DPU 1대당, 최대 320대의 FFU제어기가 연결되는 소규모 FAB용 Package type입니다.

nDPU / GMU

nDPU 1대당, 최대 1,280대의 FFU제어기가 연결되는 대규모 FAB용 19" RACK type입니다.
대규모 EFU시스템 적용시 LV32와 PC사이의 중계기 역할을 수행하게 됩니다.

Local Viewer

FFU(EFU)제어기를 최대 32 제어 및 감시할 수 있는 전용 단말기입니다.

LV32

모노 그래픽 LCD Type의 Local Viewer 32
소규모 FFU(EFU)제어, 감시모델로서 ICU의 고유 ID설정에 따른 개별, 그룹 속도 조정이 가능하며, 외부입력에 따른 연동동작이 가능합니다.

LV TOUCH

7" 칼라 LCD Type의 Local Viewer 32
그래픽 LCD로 Layout표시와 FFU/EFU의 실제위치 표현이 가능해진 차세대 모델입니다.

통합 모니터링 Software

FFU(EFU)전용 모니터링 프로그램으로, 클린룸 시스템 운영에 최적화된 그래픽 및 User 운영 환경을 제공합니다.



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